擴散式與泵吸式臭氧檢測儀的檢測原理基本一樣，通過儀器的傳感器對所要檢測的氣體進行檢測，然后通過電路放大整理轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的數(shù)值顯示在屏幕上。
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　　擴散式與泵吸式區(qū)別在于取樣方式不同
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　　擴散式臭氧檢測儀是被檢測區(qū)域的臭氧氣體隨著空氣的自由流動緩慢的將樣氣流入儀表進行檢測，需放置在現(xiàn)場。這種方式受檢測環(huán)境的影響，如環(huán)境溫度、濕度、壓強、風(fēng)速等，不適合于壓力較低的氣源。擴散式臭氧檢測儀的優(yōu)點是成本比泵吸式低。
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　　泵吸式臭氧檢測儀是儀器配置了一個微型抽氣泵，其工作方式是電源帶動微型氣泵對待測區(qū)域的氣體進行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進行檢測。泵吸式氣體檢測儀的特點是檢測速度快，對危險的區(qū)域（高濃度臭氧區(qū)域）可進行遠距離測量，維護現(xiàn)場操作人員的安全。適合于臭氧檢測儀不能放置的現(xiàn)場以及對反應(yīng)速度、壓差等有特殊要求的場合。
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　　微型真空泵是泵吸式氣體檢測儀重要的運轉(zhuǎn)部件，直接關(guān)系到儀器的壽命和可靠性。泵吸式臭氧檢測儀一般選用小型、微型體積的氣泵。設(shè)計時根據(jù)流量、壓力、功率與樣品隔離、無泄漏、輕巧、低噪音、電磁兼容性、壽命等要求選用氣泵。目前國內(nèi)的低端微型泵生產(chǎn)廠家很多，低端市場幾乎被國貨占領(lǐng)。而高端微型泵則由進口KNF、Thamos、GAST品牌一統(tǒng)天下。
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　　從技術(shù)經(jīng)濟上講，臭氧檢測儀的各部分元件壽命最好能匹配。電化學(xué)特定氣體傳感器的壽命一般是三年至五年。電化學(xué)傳感器的壽命取決于其中電解液的干涸,所以如果長時間不用，將其密封放在較低溫度的環(huán)境中可以延長一定的使用壽命。固定式儀器于體積相對較大，傳感器的壽命也較長一些